，所有氣體管路都由的、退火型、無縫連接的不銹鋼管組成。銅管只使用在氣體管路的末端，對氣體純度要求不是太嚴(yán)格的地方。(比如通風(fēng)柜)。
，氣體管道不得和電纜、導(dǎo)電線路同架鋪設(shè)。
如乙炔需要和其他氣體分開單引入。氫氣管道若與其他可燃?xì)怏w管道平行敷設(shè)時，其間距不應(yīng)小于0.5M;交叉敷設(shè)時間距不應(yīng)小于0.25M。分層敷設(shè)時氫氣管道應(yīng)位于上方。
，壓縮空氣在管路上有過濾雜質(zhì)和水分的凈化裝置，此凈化裝置需要并聯(lián)一路，用單的閥門隔離，以方便對過濾裝置進(jìn)行維修。
，高純氣體管路的連接為無縫焊接。連接到閥門或調(diào)節(jié)裝置時才可以使用接頭配件。
， 每個實(shí)驗(yàn)室都要有單的控制閥、減壓閥和壓力表。
，引到工作臺的氣體管路要安裝單的控制閥。工作臺上要均勻排放各種氣體的控制閥門。在氦氣管路前面建議安裝氣體凈化裝置。
，每隔1.5米左右，氣體管路就需要有支架。另外根據(jù)氣體管路彎曲的半徑，設(shè)置合適的支架位置。所有彎曲處都要有支撐。氣體管路所有的支架都要進(jìn)行鍍鋅防腐處理。
，不銹鋼管件在現(xiàn)場安裝時方可啟封，啟封后均要適用5N的高純氣體吹掃后才能接入系統(tǒng)。整個系統(tǒng)安裝完成后，還要再使用5N的高純氮?dú)膺M(jìn)行大流量吹掃，以確保整個系統(tǒng)的潔凈度。
，供氣系統(tǒng)安裝完成后，根據(jù)要求進(jìn)行相關(guān)的強(qiáng)度測試、密封測試和穩(wěn)定性測試。
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